Polysilicon යනු වැදගත් ඉසින ඉලක්ක ද්‍රව්‍යයකි.SiO2 සහ අනෙකුත් තුනී පටල සකස් කිරීම සඳහා මැග්නට්‍රෝන ස්පුටරින් ක්‍රමය භාවිතා කිරීමෙන් න්‍යාස ද්‍රව්‍යයට වඩා හොඳ දෘශ්‍ය, පාර විද්‍යුත් සහ විඛාදන ප්‍රතිරෝධයක් ඇති කළ හැකි අතර එය ස්පර්ශ තිරය, දෘශ්‍ය සහ වෙනත් කර්මාන්තවල බහුලව භාවිතා වේ.
දිගු ස්ඵටික වාත්තු කිරීමේ ක්‍රියාවලිය නම්, ඉන්ගෝට් උදුනේ උණුසුම් ක්ෂේත්‍රයේ තාපකයේ උෂ්ණත්වය නිවැරදිව පාලනය කිරීම සහ තාප පරිවාරක ද්‍රව්‍යයේ තාපය විසුරුවා හැරීම මගින් ද්‍රව සිලිකන් ක්‍රමයෙන් පහළ සිට ඉහළට දිශානුගත ඝණ වීම අවබෝධ කර ගැනීමයි. ඝණීකරණ දිගු ස්ඵටික වේගය 0.8 ~ 1.2cm/h වේ.ඒ අතරම, දිශානුගත ඝණීකරණ ක්රියාවලියේදී, සිලිකන් ද්රව්යවල ලෝහ මූලද්රව්යවල වෙන් කිරීමේ බලපෑම අවබෝධ කර ගත හැකි අතර, බොහෝ ලෝහ මූලද්රව්ය පිරිසිදු කළ හැකි අතර, ඒකාකාර බහු ස්ඵටික සිලිකන් ධාන්ය ව්යුහයක් සෑදිය හැක.
වාත්තු කරන පොලිසිලිකන් ද සිලිකන් දියවීම තුළ ඇති ප්‍රතිග්‍රාහක අපද්‍රව්‍යවල සාන්ද්‍රණය වෙනස් කිරීම සඳහා නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී හිතාමතාම මාත්‍රණය කළ යුතුය.කර්මාන්තයේ p-type cast polysilicon හි ප්‍රධාන මාත්‍රාව වන්නේ සිලිකන් බෝරෝන් මාස්ටර් මිශ්‍ර ලෝහය වන අතර එහි බෝරෝන් අන්තර්ගතය 0.025% පමණ වේ.මාත්‍රණ ප්‍රමාණය තීරණය වන්නේ සිලිකන් වේෆරයේ ඉලක්ක ප්‍රතිරෝධය මගිනි.ප්‍රශස්ත ප්‍රතිරෝධකතාව 0.02 ~ 0.05 Ω • cm වන අතර, ඊට අනුරූප බෝරෝන් සාන්ද්‍රණය 2 × 1014cm-3。 කෙසේ වෙතත්, සිලිකන් වල බෝරෝන්හි වෙන් කිරීමේ සංගුණකය 0.8 වන අතර, එය දිශානුගත ඝණීකරණ ක්රියාවලියේදී යම් වෙන් කිරීමේ බලපෑමක් පෙන්නුම් කරයි. යනු, බෝරෝන් මූලද්‍රව්‍යය තුණ්ඩයේ සිරස් දිශාවට අනුක්‍රමණයකින් බෙදා හරින අතර ප්‍රතිරෝධය ක්‍රමයෙන් පහළ සිට ඉහළට අඩු වේ.
පසු කාලය: ජූලි-26-2022